本實驗裝置由直流高壓電源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、輝光放電管、真空鍍膜鐘罩等部件組成。
主要實驗內(nèi)容
可測定探極伏安特性、電子密度、電子溫度、電子平均動能、空間電位分布等多種特性參數(shù);了解真空濺射鍍膜的原理及基本方法。
儀器主要配置及技術(shù)參數(shù)
☆真空系數(shù):旋片式真空泵，單相220V，抽速4L/s，極限真空:6×10^-1Pa。
☆智能數(shù)顯熱偶真空計測量系統(tǒng)，采用二路測量真空濺射鍍膜和輝光放電等離子氣體樣品氣壓。氣路采用標(biāo)準(zhǔn)高真空接口，濺射鍍膜實驗和輝光放電等離子通過高真空角膜閥轉(zhuǎn)換。
☆直流高壓電源:0~2000V連續(xù)可調(diào);放電電流0~0.5A可測;
☆輝光放電管陽極端有三個探針，可以用單探極法、雙探極法、補償法等進(jìn)行測量;
☆工作氣壓:10~200Pa可調(diào):放電管內(nèi)Φ40×400mm.

浙江大學(xué)研制